壓力變送器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等眾多行業(yè)。
壓力變送器有電動(dòng)式和氣動(dòng)式兩大類。電動(dòng)式的統(tǒng)一輸出信號(hào)為0～10mA、4～20mA或1～5V等直流電信號(hào)。氣動(dòng)式的統(tǒng)一輸出信號(hào)為20～100Pa的氣體壓力。
壓力變送器按不同的轉(zhuǎn)換原理可分為力(力矩)平衡式、電容式、電感式、應(yīng)變式和頻率式等
壓力變送器的發(fā)展大體經(jīng)歷了四個(gè)階段：
(1)早期壓力變送器采用大位移式工作原理，如水銀浮子式差壓計(jì)及膜盒式差壓變送器，這些變送器精度低且笨重。
(2)20世紀(jì)50年代有了精度稍高的力平衡式差壓變送器，但反饋力小，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，可靠性、穩(wěn)定性和抗振性均較差。
(3)20世紀(jì)70年代中期，隨著新工藝、新材料、新技術(shù)的出現(xiàn)，尤其是電子技術(shù)的迅猛發(fā)展，出現(xiàn)體積小巧，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的位移式變送器。
(4)20世紀(jì)90年代科學(xué)技術(shù)迅猛發(fā)展，變送器測(cè)量精度提高而且逐漸向智能化發(fā)展，數(shù)字信號(hào)傳輸更有利于數(shù)據(jù)采集，出現(xiàn)了擴(kuò)散硅壓阻式變送器、電容式變送器、差動(dòng)電感式變送器和陶瓷電容式變送器等不同類型。
擴(kuò)散硅壓力變送器
介質(zhì)壓力通過(guò)隔離膜片和硅油傳遞給壓力敏芯片，該芯片上擴(kuò)散又四個(gè)電阻并組成惠斯通電橋，當(dāng)壓力變化時(shí)兩個(gè)對(duì)角的電阻值增加，另兩個(gè)對(duì)角電阻減少，在恒定電流（約1mA）的作用下輸出50-100mV電壓信號(hào)，通過(guò)轉(zhuǎn)換模塊輸出液壓力成正比的4-20mV的電流信號(hào)。擴(kuò)散硅壓力敏感器件具有高靈敏度輸出，測(cè)量精度高的特點(diǎn)。擴(kuò)散硅傳感器可長(zhǎng)期工作在150-250攝氏度的環(huán)境下。
陶瓷壓力變送器
它是利用一種特殊的正比壓阻效應(yīng)的材料，通過(guò)厚膜技術(shù)印制在陶瓷膜片上，介質(zhì)壓力直接作用于陶瓷膜片的另一面，當(dāng)壓力變化時(shí)，通過(guò)陶瓷膜片傳遞給具有壓阻效應(yīng)的材料上，使其構(gòu)成的惠斯通電橋產(chǎn)生電阻變化，在恒定激勵(lì)電壓的作用下輸出mV電壓信號(hào)。通過(guò)轉(zhuǎn)換模塊，輸出與壓力成正比的4-20mV電流信號(hào)。陶瓷傳感器由于陶瓷膜片的抗腐蝕性可與大多數(shù)介質(zhì)相接觸，并具有低的溫度系數(shù)。
